日本結晶成長学会誌
Online ISSN : 2187-8366
Print ISSN : 0385-6275
ISSN-L : 0385-6275
シリコン単結晶中のD欠陥評価法の開発と結晶育成条件との対比への応用 : シンポジウムI
山岸 浩利布施川 泉藤巻 延喜
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1991 年 18 巻 1 号 p. 13-

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© 1991 日本結晶成長学会
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