LPE法で作られたAl_xGa_<1-x>As系ヘテロ接合のTEMによる評価 : エピタキシーII

日本結晶成長学会誌

Online ISSN : 2187-8366
Print ISSN : 0385-6275
ISSN-L : 0385-6275

LPE法で作られたAl_xGa_<1-x>As系ヘテロ接合のTEMによる評価 : エピタキシーII

平田光兒, 華国春, 竹田精治, 藤田尚徳, 石渡俊男

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1991 年 18 巻 1 号 p. 38-

DOI https://doi.org/10.19009/jjacg.18.1_38

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© 1991 日本結晶成長学会

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