CZ-Si結晶成長におけるGrown-In欠陥の直径効果 : 半導体液相成長II

日本結晶成長学会誌

Online ISSN : 2187-8366
Print ISSN : 0385-6275
ISSN-L : 0385-6275

CZ-Si結晶成長におけるGrown-In欠陥の直径効果 : 半導体液相成長II

阿部孝夫, 萩本和徳

著者情報

ジャーナルフリー

1995 年 22 巻 3 号 p. 262-

DOI https://doi.org/10.19009/jjacg.22.3_262

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 1995 日本結晶成長学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top