電子顕微鏡その場観察によるAl蒸着膜の熱的挙動

抄録

NaCl基板上への真空蒸着により2種類のAlエピタキシャル膜を作製した後,透過電子顕微鏡内での加熱による熱的挙動を観察した. (III)単結晶膜においては,膜内に局在する転位の多くは873K以上の加熱によって膜外に去るとともに,小さな粒は縮小して消滅したため,膜の結晶性は向上した. (III)優先方位の多結晶膜においては,温度上昇に伴ってまず正常な粒成長が生じた. その後,873K以上の温度で新たに形成した結晶粒は,正常粒成長に比べて広い領域に及ぶ,熱流に沿う異常な成長を示した.