日本結晶成長学会誌
Online ISSN : 2187-8366
Print ISSN : 0385-6275
ISSN-L : 0385-6275
MTSを用いたRFプラズマCVD法によるシリコンカーバイドの成膜機構 : 薄膜
金子 聰宮川 宣明曽根 逸人飯島 誠中村 良治
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1996 年 23 巻 3 号 p. 169-

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© 1996 日本結晶成長学会
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