日本結晶成長学会誌
Online ISSN : 2187-8366
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リッジ基板を用いたGaAs低角入射分子線エピタキシー : 入射角の効果 : エピキタシャル成長I
鈴木 喬丸山 隆浩成塚 重弥西永 頌
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2002 年 29 巻 2 号 p. 21-

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抄録
We have conducted lateral growth by low angle incidence MBE. In this work, we carried out epitaxial lateral growth from ridge structure. The incidence angles were chosen as 12°and 21°in the growth and effect of incidence angle was studied.
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© 2002 日本結晶成長学会
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