スーパーシリコン研究所におけるφ400mm大口径シリコンウェーハの開発 : 官民共同開発コンソーシアムの意義 : 招待講演

抄録

従来、シリコンウェーハに係わる基本技術はことごとく欧米で培われてきたと見てよい。今回、産官学の支援・協力・助言を得て、世界で初めてφ400mmシリコンウェーハの開発に成功した。共同開発を通して日本が遅れている分野はシミュレーションソフト及び計測技術であることを再確認した。関連分野の協調が進み、世界に冠たるシリコンウェーハ要素技術を生み出すのが我々の使命である。