SAW素子用LiNbO_3,LiTaO_3単結晶の開発,実用化(<小特集1>学会統合記念)
2006 年 33 巻 1 号 p. 7-11
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2006 年 33 巻 1 号 p. 7-11
LiNbO_3,LiTaO_3結晶を使用したSAW素子の開発経過について報告する.LiNbO_3単結晶128°Y板は,TV-IFなどのIF用素子に大量に使用された.しかし,固溶体のために音速のばらつきが存在することなども分かり,組成のコントロールや,非破壊測定装置の導入により歩留まり向上を図った.LiTaO_3に関しては,自動車電話や,携帯電話に使用されて大量に使用される手がかりを見出すことが出来た.今後は,設計に応じた,プロセスにうまく対応したウエーハ基板の開発が必要である.
