BP気相成長層の成長温度依存性 : エピタキシー(VPE)

日本結晶成長学会誌

Online ISSN : 2187-8366
Print ISSN : 0385-6275
ISSN-L : 0385-6275

BP気相成長層の成長温度依存性 : エピタキシー(VPE)

浅野浩, 西永煩

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ジャーナルフリー

1978 年 5 巻 3 号 p. 14-

DOI https://doi.org/10.19009/jjacg.5.3_14

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© 1978 日本結晶成長学会

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