幅100mmのシリコンリボンの結晶の引上げ : 融液成長

日本結晶成長学会誌

Online ISSN : 2187-8366
Print ISSN : 0385-6275
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幅100mmのシリコンリボンの結晶の引上げ : 融液成長

真木直明, 沢田俊幸

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1981 年 8 巻 2 号 p. 43-

DOI https://doi.org/10.19009/jjacg.8.2_43

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© 1981 日本結晶成長学会

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