日本物理学会講演概要集
Online ISSN : 2189-0803
ISSN-L : 2189-0803
セッションID: 28a-S-2
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28a-S-2 SiC膜/Si基板界面にC-rich層の形成メカニズム
孫 勇, 園田 信夫, 宮里 達郎
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