日本物理学会講演概要集
Online ISSN : 2189-0803
ISSN-L : 2189-0803
セッションID: 29a-YX-9
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29a-YX-9 プラズマソースイオン注入法による TiN 相の作製
八束 充保, 三木 真一, 橋本 好幸, 山崎 徹, 内田 仁, 信原 貞男
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