31a-ZA-4 ランプアニール後のAs注入Si基板の残留欠陥

日本物理学会講演概要集

Online ISSN : 2189-0803
ISSN-L : 2189-0803

セッションID: 31a-ZA-4

DOI https://doi.org/10.11316/jpsgaiyo.54.1.2.0_112_2

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31a-ZA-4 ランプアニール後のAs注入Si基板の残留欠陥

菊地吉男, 上杉文彦, 渡辺和人, 長枝浩, 加瀬正隆, 橋本巌

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