24pXQ-6 マイクロ波放電窒素プラズマの電子温度・振動温度の放電圧力依存性(24pXQ プラズマ分光・原子過程(領域内横断),領域2(プラズマ物理・核融合,放電分野))

日本物理学会講演概要集

Online ISSN : 2189-0803
ISSN-L : 2189-0803

セッションID: 24pXQ-6

DOI https://doi.org/10.11316/jpsgaiyo.57.1.2.0_181_3

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24pXQ-6 マイクロ波放電窒素プラズマの電子温度・振動温度の放電圧力依存性(24pXQ プラズマ分光・原子過程(領域内横断),領域2(プラズマ物理・核融合,放電分野))

小池秀児, 坂本武士, 小堀裕之, 松浦治明, 赤塚洋

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