8aSM-7 6H-SiC(1120)の表面構造と初期酸化過程(表面界面構造・電子物性,領域9)

日本物理学会講演概要集

Online ISSN : 2189-0803
ISSN-L : 2189-0803

セッションID: 8aSM-7

DOI https://doi.org/10.11316/jpsgaiyo.57.2.4.0_766_2

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8aSM-7 6H-SiC(1120)の表面構造と初期酸化過程(表面界面構造・電子物性,領域9)

星野靖, 岡沢哲晃, 仙波昌平, 松本紳吾, 城戸義明

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