日本物理学会講演概要集
Online ISSN : 2189-0803
ISSN-L : 2189-0803
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28pPSA-14 反応性スパッタ法で作製した絶縁層薄膜 AlO_x
原田 慎也, 海住 英生, 藤田 滋雄, 椎木 一夫
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p. 411-

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