日本物理学会講演概要集
Online ISSN : 2189-0803
ISSN-L : 2189-0803
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21pXA-11 p 型 Si 基板上 SiGe 膜の電気的特性に対する水素処理の影響
山下 善文, 宮迫 毅明, 石山 武, 上浦 洋一
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会議録・要旨集 フリー

p. 857-

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