14pQA-12 ヘリコン波放電におけるフロー計測とエネルギーバランスのガス種依存性(プラズマ基礎 : 強結合, 非中性, 波動, 加熱, 領域 2)

日本物理学会講演概要集

Online ISSN : 2189-0803
ISSN-L : 2189-0803

DOI https://doi.org/10.11316/jpsgaiyo.59.2.2.0_178_1

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14pQA-12 ヘリコン波放電におけるフロー計測とエネルギーバランスのガス種依存性(プラズマ基礎 : 強結合, 非中性, 波動, 加熱, 領域 2)

竹田有吾, 坂和洋一, 庄司多津男

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p. 178-

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