27aRB-6 応力をかけたシリコン中の鉄不純物の拡散(27aRB 格子欠陥・ナノ構造(半導体・シミュレーション),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))

日本物理学会講演概要集

Online ISSN : 2189-0803
ISSN-L : 2189-0803

セッションID: 27aRB-6

DOI https://doi.org/10.11316/jpsgaiyo.64.1.4.0_931_3

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27aRB-6 応力をかけたシリコン中の鉄不純物の拡散(27aRB 格子欠陥・ナノ構造(半導体・シミュレーション),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))

鈴木都文, 上村知弘, 市野将弘, 吉田豊, 旭耕一郎

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