日本物理学会講演概要集
Online ISSN : 2189-0803
ISSN-L : 2189-0803
セッションID: 24aWX-2
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24aWX-2 放射光X線トポグラフィによるCZシリコン結晶ネック部の転位の三次元分布観察(24aWX 結晶成長,領域9(表面・界面,結晶成長))
飯田 敏, 梶原 堅太郎, 川戸 清爾
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