25aCK-2 Si上のSiO_2膜中の穴の広がり : モンテカルロ・シミュレーション(25aCK 結晶成長,領域9(表面・界面,結晶成長))

日本物理学会講演概要集

Online ISSN : 2189-0803
ISSN-L : 2189-0803

セッションID: 25aCK-2

DOI https://doi.org/10.11316/jpsgaiyo.67.1.4.0_943_4

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25aCK-2 Si上のSiO_2膜中の穴の広がり : モンテカルロ・シミュレーション(25aCK 結晶成長,領域9(表面・界面,結晶成長))

齋藤幸夫, Frederic Leroy, Fabien Cheynis, Pierre Muller

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