18pFN-5 Si(100)表面酸化における立体異方性 : 面内方位依存性の観測(18pFN 表面界面ダイナミクス,領域9(表面・界面,結晶成長))

日本物理学会講演概要集

Online ISSN : 2189-0803
ISSN-L : 2189-0803

セッションID: 18pFN-5

DOI https://doi.org/10.11316/jpsgaiyo.67.2.4.0_818_3

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18pFN-5 Si(100)表面酸化における立体異方性 : 面内方位依存性の観測(18pFN 表面界面ダイナミクス,領域9(表面・界面,結晶成長))

倉橋光紀, 山内泰

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