日本物理学会講演概要集
Online ISSN : 2189-0803
ISSN-L : 2189-0803
セッションID: 28pPSA-52
会議情報
28pPSA-52 第一原理計算によるHfO_2/SiO_2/Si界面の原子構造と界面欠陥の解明(28pPSA 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面・結晶成長))
松岡 佳史, 小嶋 隆史, 小野 倫也
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