高速イオンの照射点付近における温度測定IV

抄録

1MeV程度のC60イオンをシリコン窒化膜やシリコン酸化膜に照射したときの、照射点近傍の温度上昇を、ナノ粒子の脱離現象を利用して測定した。今回は、試料の入射面と出射面で温度分布が異なることを見出したので、その原因を考察した結果を報告する。