小型電子ビームイオントラップによる重元素多価イオンの極端紫外分光

抄録

小型電子ビームイオントラップを用いてモリブデン（原子番号Z=42）およびイットリウム（Z-39）の多価イオンの極端紫外域における発光スペクトルの観測を行った。これらのイオンの極端紫外域スペクトルは、次世代リソグラフィ光源への応用が期待されており、それらの基礎データとして重要である。得られたスペクトルを理論スペクトルと比較し議論する。