投影型イメージング質量分析用時間検知型半導体検出器の開発VI

抄録

現在主流の走査型イメージング質量分析より高い空間分解能および短時間測定の実現を目指して提案された投影型イメージング質量分析では、イオン像の検出に位置と飛行時間の同時検出が求められる。この要求に対応するべく我々はトップの配線層により入力電極パッドを形成し時間測定回路を実装したピクセルのアレイからなる半導体検出器の開発を進めている。本講演では高い時間分解能を実現する Time Memory Cell の改良等を行った試作について紹介を行う。