日本物理学会講演概要集
Online ISSN : 2189-0803
ISSN-L : 2189-0803
セッションID: 9pC215-4
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アモルファス酸窒化シリコン薄膜の音速の温度依存性:ゼロ温度係数の実現
坪井 誠也荻 博次長久保 白松田 聡壁 義郎是枝 聡肇藤井 康裕
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