SOIピクセル検出器を用いたデバイリング測定装置による材料評価

日本物理学会講演概要集

Online ISSN : 2189-0803
ISSN-L : 2189-0803

セッションID: 10aC215-2

DOI https://doi.org/10.11316/jpsgaiyo.73.2.0_2083

会議情報

主催: 一般社団法人日本物理学会

会議名: 2018年度日本物理学会秋季大会

開催地: 信州大学 ,同志社大学

開催日: 2018/09/09 - 2018/09/17

SOIピクセル検出器を用いたデバイリング測定装置による材料評価

三井真吾, 佐々木敏彦, 西村龍太郎, 新谷正義, 新井康夫, 三好敏喜

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キーワード: Ｘ線・粒子線, Ｘ線, 装置開発

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