イオンビーム分析を用いたp型GaN中の水素の測定

日本物理学会講演概要集

Online ISSN : 2189-0803
ISSN-L : 2189-0803

セッションID: 10aA216-7

DOI https://doi.org/10.11316/jpsgaiyo.73.2.0_248

会議情報

主催: 一般社団法人日本物理学会

会議名: 2018年度日本物理学会秋季大会

開催地: 信州大学 ,同志社大学

開催日: 2018/09/09 - 2018/09/17

イオンビーム分析を用いたp型GaN中の水素の測定

菊田純市, 原山勲, 小澤孝拓, 福谷克之, 関場大一郎

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キーワード: 放射線物理, イオン－表面相互作用, チャネリング, 材料・物質改質

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