反応（界面）律速結晶成長における「ステップ」成長速度とファセット化したマクロステップ高さの関係：非平衡定常状態

日本物理学会講演概要集

Online ISSN : 2189-0803
ISSN-L : 2189-0803

セッションID: 15pK203-2

DOI https://doi.org/10.11316/jpsgaiyo.74.1.0_2458

会議情報

主催: 一般社団法人日本物理学会

会議名: 2019年度日本物理学会第74回年次大会

開催日: 2019/03/14 - 2019/03/17

2019年度日本物理学会第74回年次大会

反応（界面）律速結晶成長における「ステップ」成長速度とファセット化したマクロステップ高さの関係：非平衡定常状態

阿久津典子

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キーワード: 結晶成長, 半導体, 理論・シミュレーション

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