反応性プラズマにおけるナノ粒子成長における変調レベル依存性

日本物理学会講演概要集

Online ISSN : 2189-0803
ISSN-L : 2189-0803

セッションID: 15aK309-9

DOI https://doi.org/10.11316/jpsgaiyo.74.1.0_942

会議情報

主催: 一般社団法人日本物理学会

会議名: 2019年度日本物理学会第74回年次大会

開催日: 2019/03/14 - 2019/03/17

2019年度日本物理学会第74回年次大会

反応性プラズマにおけるナノ粒子成長における変調レベル依存性

鎌滝晋礼, 周靭, 大友洋, 岩本亮介, 山下大輔, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治

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キーワード: プラズマ科学（応用を含む）, プラズマ応用, 非中性プラズマ・ダストプラズマ・反応性プラズマ

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