7a-B-7 ESR of Defects in O^+ Ion Implanted Silicon (Si-P2 Center)

春の分科会予稿集

Online ISSN : 2433-1104

1971.1

DOI https://doi.org/10.11316/jpsgaiyoe.1971.1.0_80_1

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7a-B-7 ESR of Defects in O^+ Ion Implanted Silicon (Si-P2 Center)

和泉富雄, 小林敏彦, 前川洋, 渡辺寛, 松森徳衛

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p. 80-

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