年会予稿集
Online ISSN : 2433-1155
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3a-G-11 ボロン注入したシリコン単結晶の後方散乱(欠陥分布)
米田 清, 川辺 昭治, 西 秀敏, 桜井 照夫, 遠井 淳友, 堀江 和夫, 赤坂 洋一
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p. 293-

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© 1971 一般社団法人 日本物理学会
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