年会予稿集
Online ISSN : 2433-1155
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29a-D-5 Kr, Neなど希ガス中でのスパッターによるa-Siの製作
井村 健, 牛田 克己, 久保田 和芳, 福島 祥人, 平木 昭夫
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p. 143-

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© 1980 一般社団法人 日本物理学会
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