13p-Q-1 低速多価イオンによる絶縁体表面のスパッタリングの研究III

日本物理学会講演概要集. 秋の分科会

Online ISSN : 2433-1171

セッションID: 13p-Q-1

DOI https://doi.org/10.11316/jpsgaiyoj.1993.4.0_14_1

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13p-Q-1 低速多価イオンによる絶縁体表面のスパッタリングの研究III

角谷暢一, 東俊行, 山崎泰規, 小牧研一郎, 黒木健郎

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