14a-DG-9 電子注入に伴う高周波放電プラズマの特性変化

日本物理学会講演概要集. 秋の分科会

Online ISSN : 2433-1171

セッションID: 14a-DG-9

DOI https://doi.org/10.11316/jpsgaiyoj.1993.4.0_154_1

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14a-DG-9 電子注入に伴う高周波放電プラズマの特性変化

荻田吉晴, 佐藤直幸, 小林英生, 田辺利夫, 池畑隆, 真瀬寛

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