27a-N-6 シリコン中積層欠陥の金拡散による成長・肥大と収縮・消滅

日本物理学会講演概要集. 秋の分科会

Online ISSN : 2433-1171

セッションID: 27a-N-6

DOI https://doi.org/10.11316/jpsgaiyoj.1995.2.0_21_2

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27a-N-6 シリコン中積層欠陥の金拡散による成長・肥大と収縮・消滅

師岡正美

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