27p-R-10 マイクロ波プラズマ源におけるプラズマ閉じ込めとカスプ損失幅の測定

日本物理学会講演概要集. 秋の分科会

Online ISSN : 2433-1171

セッションID: 27p-R-10

DOI https://doi.org/10.11316/jpsgaiyoj.1995.4.0_155_1

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27p-R-10 マイクロ波プラズマ源におけるプラズマ閉じ込めとカスプ損失幅の測定

モズジュッチコフマイケル, 二瓶仁, 井上信幸

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