27p-R-12 ECR励起プラズマ中の反応性マグネトロン・スパッタリングによるTa_2O_5薄膜の合成

日本物理学会講演概要集. 秋の分科会

Online ISSN : 2433-1171

セッションID: 27p-R-12

DOI https://doi.org/10.11316/jpsgaiyoj.1995.4.0_156_1

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27p-R-12 ECR励起プラズマ中の反応性マグネトロン・スパッタリングによるTa_2O_5薄膜の合成

秋津哲也, 助川俊光, 中前征司, 中川恭彦, 松沢秀典

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