Ar^<q+>(q=1〜8)衝突によるAlとAl_2O_3表面からの発光分光

日本物理学会講演概要集. 秋の分科会

Online ISSN : 2433-1171

セッションID: 1p-YJ-2

DOI https://doi.org/10.11316/jpsgaiyoj.1996.4.0_26_1

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Ar^<q+>(q=1〜8)衝突によるAlとAl_2O_3表面からの発光分光

本橋健次, 鶴淵誠二, 清水宏, 持地広造, 田沼肇, 小林信夫

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