秋の分科会予稿集
Online ISSN : 2433-118X
セッションID: 3p-G-8
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3p-G-8 斜め入射スパッタFe膜の柱状粒構造
伊藤 喜久男, 岡本 邦人, 藤原 浩
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© 1989 一般社団法人 日本物理学会
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