27p-PSA-10 Si(100)表面におけるCl_2の散乱、吸着過程

秋の分科会予稿集

Online ISSN : 2433-118X

セッションID: 27p-PSA-10

DOI https://doi.org/10.11316/jpsgaiyok.1992.2.0_492_2

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27p-PSA-10 Si(100)表面におけるCl_2の散乱、吸着過程

並木章, 田中勝, 馬場先洋次, Geuzabroek F.H, 中村哲郎, 壽崎哲夫

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© 1992 一般社団法人日本物理学会

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