超極薄AlドープSiO<sub><i>x</i></sub>膜におけるSi表面パッシベーションの面方位依存性

「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム（日本太陽光発電学会学術講演会）予稿集

Online ISSN : 2436-6498

第19回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム（第2回日本太陽光発電学会学術講演会）（2022年）

セッションID: PB-15

DOI https://doi.org/10.57295/jpvsproc.2.0_56

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主催: 日本太陽光発電学会

超極薄AlドープSiO_x膜におけるSi表面パッシベーションの面方位依存性

中島寛記, Huynh Thi Cam Tu, 大平圭介

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