共スパッタ法で作製した超高ΔSiON導波路

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第57回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 18p-P6-14

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_1110

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 57

開催地: 東海大学

開催日: 2010/03/17 - 2010/03/20

共スパッタ法で作製した超高ΔSiON導波路

*伊東雅之, 井藤幹隆, 小湊俊海, 阿部淳

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キーワード: 18p-P6-14, 光エレクトロニクス, 光制御, 共スパッタ, 超高Δ, 伝搬損失

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