高電気伝導性アモルファスNbO<sub>x</sub>薄膜の作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第57回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 17a-TQ-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_1293

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 57

開催地: 東海大学

開催日: 2010/03/17 - 2010/03/20

高電気伝導性アモルファスNbO_x薄膜の作製

*大澤健男, 鈴木竜, 大久保純平, 橋詰富博, 一杉太郎

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キーワード: 17a-TQ-5, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, 透明導電体

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