集束イオンビーム化学気相成長法により作製した3次元DLCナノ構造の機能化

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第57回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 19p-W-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_1622

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 57

開催地: 東海大学

開催日: 2010/03/17 - 2010/03/20

集束イオンビーム化学気相成長法により作製した3次元DLCナノ構造の機能化

*米谷玲皇, 遊佐幸樹, 割澤伸一, 石原直

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キーワード: 19p-W-5, ビーム応用, ビーム・光励起表面反応, ダイアモンドライクカーボン, ピエゾ抵抗効果, 集束イオンビーム

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