新エミッシブプローブ法によるRFプラズマの電子エネルギー分布測定(II)

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第57回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 17p-ZC-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_1736

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 57

開催地: 東海大学

開催日: 2010/03/17 - 2010/03/20

新エミッシブプローブ法によるRFプラズマの電子エネルギー分布測定(II)

*中崎嘉信, 藤本優眞, 木村康人, 草場康太, 進藤春雄

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キーワード: 17p-ZC-10, プラズマエレクトロニクス, プラズマ診断･計測, プラズマ

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