大型ガラス基板へのスパッタリング装置（技術）

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第57回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 17p-TN-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_22

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 57

開催地: 東海大学

開催日: 2010/03/17 - 2010/03/20

大型ガラス基板へのスパッタリング装置（技術）

*新井真, 佐藤善勝, 清田淳也, 佐藤重光

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キーワード: 17p-TN-3, シンポジウム, 大型真空システムの現状と今後の展開, スパッタリング装置, フラットパネルディスプレイ, 酸化物半導体

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