放射光光電子分光によるhigh-<i>k</i>/SiON界面双極子の観測とその起源 (2)

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第57回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 19a-P11-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_2801

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 57

開催地: 東海大学

開催日: 2010/03/17 - 2010/03/20

放射光光電子分光によるhigh-k/SiON界面双極子の観測とその起源 (2)

*菊池亮, 豊田智史, 鎌田洋之, 組頭広志, 尾嶋正治, 岩本邦彦, 助川孝江, 劉紫園

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キーワード: 19a-P11-11, 半導体A（シリコン）, 絶縁膜技術, high-k, 界面双極子, 半導体

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