フラッシュランプアニールによるa-Si膜の横方向結晶化への前駆体構造の影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第57回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 18a-D-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_2908

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 57

開催地: 東海大学

開催日: 2010/03/17 - 2010/03/20

フラッシュランプアニールによるa-Si膜の横方向結晶化への前駆体構造の影響

*大平圭介, 西川拓也, 石井翔平, 渡村尚仁, 松村英樹

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キーワード: 18a-D-3, 半導体A（シリコン）, Siプロセス技術, 結晶化, 瞬間熱処理, 多結晶シリコン

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